Vakuové měrky INFICON Hot Ion
13.07.2020
Vakuové měrky INFICON Hot Ion kombinují výhody až tří různých technologií v jedné kompaktní jednotce. Měrky lze použít k měření procesů v rozsahu tlaků 5E-10 do 1500 mbar.
Kombinace technologií do jedné měrky snižuje složitost instalace, nastavení a integrace, čímž se sníží i náklady a požadavky na potřebný prostor.
TYPICKÉ APLIKACE
- měření tlaku pro polovodičový průmysl
- obecné měření a regulace vakua od nejnižšího až po rozsah velmi vysokého vakua
- fyzikální depozice par (PVD) v průmyslovém nanášení tenkých vrstev
PŘEHLED HLAVNÍCH VÝHOD
- až 13 dekád v jedné měrce
- úspora nákladů a místa potřebného k instalaci
- jednoduchá instalace a nastavení
- dlouhá životnost
- snadná výměna senzoru
Více informací naleznete zde
.