Vakuové měrky INFICON Hot Ion

13.07.2020

Vakuové měrky INFICON Hot Ion kombinují výhody až tří různých technologií v jedné kompaktní jednotce. Měrky lze použít k měření procesů v rozsahu tlaků 5E-10 do 1500 mbar.

Kombinace technologií do jedné měrky snižuje složitost instalace, nastavení a integrace, čímž se sníží i náklady a požadavky na potřebný prostor. 

TYPICKÉ APLIKACE

  • měření tlaku pro polovodičový průmysl 
  • obecné měření a regulace vakua od nejnižšího až po rozsah velmi vysokého vakua
  • fyzikální depozice par (PVD) v průmyslovém nanášení tenkých vrstev

PŘEHLED HLAVNÍCH VÝHOD

  • až 13 dekád v jedné měrce
  • úspora nákladů a místa potřebného k instalaci
  • jednoduchá instalace a nastavení
  • dlouhá životnost
  • snadná výměna senzoru

Více informací naleznete zde

.